高純氬和純氬在純度和價(jià)格上都有一定差別,首先氬氣是無色無味無毒氣體,化學(xué)性質(zhì)極不活潑,未形成任何化合物,相對(duì)密度ds(21.1℃)1.38,氣體密度1.650kg/m3(21.1℃),液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃),沸點(diǎn)-185.9℃.熔點(diǎn)-189.2℃。
氬氣是采用空氣分離提氬,即將液化的空氣進(jìn)行精餾,得到粗氬.抽出粗氬,經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬,高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣.氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護(hù)氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
在數(shù)據(jù)上表示這兩種的區(qū)別為:
純 氬 GB/T4842—1995 Ar≥99.99%
高純氬 GB/T10624—1995 Ar≥99.9996%(優(yōu)等品)
Ar≥99.9993%(一等品)
Ar≥99.999%(合格品)