Ar，純氬純度為99.9%，高純氬純
度為99.999%，塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/
升。氬是空氣中含量最多的一種稀有氣體，無(wú)
色無(wú)臭，不助燃，無(wú)毒。純氬可用低溫精餾
法制取，純氬經(jīng)銅爐高溫除氧、硅膠干燥除
水、再經(jīng)除氮塔進(jìn)一步精餾除氮便得
99.999%的高純氬。純氬可配制特種混合氣
和工業(yè)混合氣如電光源混合氣等。高純氬作
為保護(hù)氣和運(yùn)載氣主要用于電子工業(yè)中半導(dǎo)
體鍺、硅等的精煉和單晶硅的制備。
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