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氬氣是一種惰性氣體,現(xiàn)在廣泛應(yīng)用于工業(yè)行業(yè),是一種很有用的稀有氣體,氬氣性質(zhì)非常不生動(dòng),它既不能焚燒,也不能助燃,因而穩(wěn)定性很好,氬氣不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而爆炸,只有可能因?yàn)榭评惵⊥茖?dǎo)公式的壓強(qiáng)改變而爆炸。氬氣罐很結(jié)實(shí),也不會(huì)像煤氣罐那樣單片橫飛,ArF是有的,但溫度改變不大,一般情況下,乃至高溫高壓下都沒有問題。
高純氬氣的國(guó)家履行標(biāo)準(zhǔn)是GB/T10624—1995,質(zhì)量要求到達(dá)99.999%以上。
氬氣是采用空氣分離提氬,即將液化的空氣進(jìn)行精餾,得到粗氬.抽出粗氬,經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬,高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作出產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學(xué)氣相堆積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣.氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護(hù)氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的出產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。
液氬是將高純氬氣壓縮成液態(tài)氣,儲(chǔ)存于杜瓦罐中。液氬使用時(shí)放出的是氣相的,液氬儲(chǔ)存在杜瓦罐中會(huì)有一個(gè)自然增壓的過程,當(dāng)它的壓力過高時(shí)杜瓦罐會(huì)進(jìn)行安全泄壓,在這個(gè)自然增壓和泄壓的過程中,氬氣很簡(jiǎn)單就被釋放了。